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鸡西气冷罗茨真空泵-诚泽机械-气冷罗茨真空泵生产厂家 :
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干式真空泵日常维修及保养注意事项
对于整个真空泵行业来说,在未来干式真空泵 将成为行业发展的主流趋势,鸡西气冷罗茨真空泵,虽然现在用的还不多,除了价格高原因外,还有用户对干式真空泵的了解不到位,看不到带
济效益,下面小编就来给大家介绍一下干式真空泵维修和保养。
对于这些不同类型的干式真空泵,我们都渴望能够将其物理尺寸减小。但这与真空泵的抽气速率相矛盾,因为真空泵的抽气速率与真空泵的容积成正比,物理尺寸小意味着容积也小。当然,还有一个影
速率的重要因素,那就是转速。为了让小尺寸的真空泵的抽气速率与大尺寸真空泵的抽气速率相匹配,就需要提高它的转速。真空泵维修保养非常重要。而想要改变真空泵的转速有两种方法,一是改变
采用变频器;二是改变齿轮箱的传动比。其中,采用变频器的好处是可以提供一个闭环控制,但在大负载下容易引起扭距的损失。而改变齿轮箱的传动比是一种非常经济的方法,当然,它只能提供不可控
现在,可以看到干式真空泵有着如此多的不同设计,它们各自有着自己的特性和优缺点。一直以来,气冷罗茨真空泵哪里有卖,使用成本是一个影响人们选择真空泵的重要因素。越来越多的真空泵用户意识到也应该将真空泵运行
去。因为真空泵的意外出错会引起机器的使用效率降低,影响到晶圆的生产和交货期,甚至造成所加工晶圆的报废和机器其它部件的损坏。由于螺杆式设计为单级设计,同多级泵如圆裂片式,爪式以及
在零件的使用数量上减少了60%。这使得其在稳定性和将来的维修成本上有很大的优势。
综合考虑,如果用户认为耗电量对他来说*为重要而氮气用量对他来说*不重要,那么选择内部压缩型螺杆式可以是一个好的选择。但普遍说来,对尾气处理越来越严格的要求使得将来对减少氮气的用量
果你希望用单一类型的泵不经过改变来处理各种不同的半导体工艺,而使得你的库存控制简单化,那么外部压缩型螺杆式是你*好的选择。
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保养方法
(一)、罗茨真空泵定期检查:
1、每日检查:
1)油位检查:油量过多,使温度升高,油量过少,造成润滑不良。
2)温度检查:用温度计检查泵各部位温度。
3)电动机负荷检查:用功率表或电流,电压表测量电动机负荷。
2、罗茨真空泵每月检查:
联轴器及垫片是否损坏和松动。
3、罗茨真空泵每3个月检查:
齿轮箱内润滑油是否变质。
4、罗茨真空泵每6个月检查:
1)前盖轴承箱内润滑油是否变质。
2)活塞环及活塞环衬套是否磨损。
3)齿轮微量程度的磨损对转子正常运转是否产生影响,是否需要调整。
(二)、罗茨真空泵拆装:
增压泵进行拆卸和重新装配时,须根据以xia注意事项进行:
1、罗茨真空泵未拆卸前,先测量并记录转子各部分间隙。
2、尽量避免用重锤敲打,拆下的零件不得碰伤,妥善保管好。
3、将需要更换的零部件的更换原因及使用情况详细记录下来。
4、罗茨真空泵重新装配前须把各零部件清洁干净,毛刺修光。
5、无密封垫衬或密封圈的静密封面用“106”有机硅橡胶涂料。用干净密封的橡胶密封件,需涂上真空考克脂。带溢流阀真空泵溢流阀上的密封圈及平面上不得涂任柯油脂。
6、根据间隙一览表调整转子各部分间隙。
7、全部装好后须进行检漏。
8、重装后须进行试运转和必要的性能测试,待正常后才能安装使用。
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罗茨泵是一种无内压缩的真空泵,通常压缩比很低,故高、中真空泵需要前级泵。
靠泵腔内一对叶形转子同步、反向旋转的推压作用来移动气体而实现抽气的真空泵。
罗茨真空泵是指具有一对同步高速旋转的鞋底形转子的机械真空泵,此泵不可以单独抽气,前级需配油封、水环等可直排大气。
它的结构和工作原理与罗茨鼓风机相似,工作时其吸气口与被抽真空容器或真空系统主抽泵相接。这种真空泵的转子与转子之间、转子与泵壳之间互不接触,
间隙一般为0.1~0.8毫米;不需要用油润滑。转子型线有圆弧线、渐开线和摆线等。渐开线转子泵的容积利用率高,加工精度易于保证,故转子型线多用渐开线型。罗茨真空泵的转速可高达3450~4100转/分;抽气速率为30~10000升/秒(1升=10-3米3);极限真空:单级为6.5×102帕,双级为1×103帕。
罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外,还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度,可将罗茨泵串联使用。罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转,被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内,再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态,所以,在泵腔内气体没有压缩和膨胀。 但当转子顶部转过排气口边缘,v0空间与排气侧相通时,由于排气侧气体压强较高,则有一部分气体返冲到空间v0中去,使气体压强突然增gao。当转子继续转动时,气体排出泵外。罗茨泵在泵腔内,有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上,由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间,转子与泵壳内壁之间,保持有一定的间隙,可以实现高转速运行。
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